|
|
Aplikace korelativní AFM/SEM mikroskopie
Hegrová, Veronika ; Fejfar, Antonín (oponent) ; Konečný, Martin (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá využitím korelativní sondové a elektronové mikroskopie. Měření bylo provedeno pomocí atomárního silového mikroskopu LiteScope navrženého speciálně ke kombinaci s elektronovými mikroskopy. Výhody korelativního AFM/SEM zobrazení jsou demonstrovány na vybraných vzorcích z oblasti nanotechnologií a materiálových věd. Možné aplikační využití korelativního AFM/SEM zobrazení bylo navrženo a následně realizováno zejména v případě nízkodimenzionálních struktur a tenkých vrstev. Dále se tato práce věnuje možnosti kombinace korelativní AFM/SEM mikroskopie s dalšími integrovanými metodami elektronového mikroskopu jako technikou fokusovaného iontového svazku a rentgenovou spektroskopií.
|
|
|
Aplikace grafénové membrány v nanoelektronických zařízeních
Kormoš, Lukáš ; Drbohlavová, Jana (oponent) ; Bartošík, Miroslav (vedoucí práce)
Táto diplomová práca je zameraná na aplikácie a výrobu grafénovej membrány z grafénu vyrobeného pomocov chemickej depozície z plynnej fáze. Teoretická časť sa zaoberá transportnými vlastnosťami grafénu a viacerými rozptylovými procesmi, ktoré obmedzujú pohyblivosť nosičov náboja v tomto materiáli. Súčasťou teoretickej časti je krátka recenzia aplikácií grafénových membrán. Experimentálna časť prezentuje výrobný proces pre dosiahnutie zaveseného grafenového zariadenia s využitím elektrónové litografie, fokusovaného zväzku iónov, chemického leptania a tvarovanie grafenovej vrstvy. Grafénová membrána je charakterizovaná meraním transportných vlastností a tieto sú následne porovnané s grafénom položeným na substráte.
|
|
|
Výroba a charakterizace plazmonických nanostruktur
Bačo, Ondřej ; Kvapil, Michal (oponent) ; Dvořák, Petr (vedoucí práce)
Předkládaná bakalářská práce se zabývá přípravou a charakterizací plazmonických nanostruktur. Pro přípravu těchto struktur byl použit grafen na dopovaném křemíkovém substrátu s 285nm vrstvou oxidu křemičitého. Grafenové pruhy o šířce řádově stovek nanometrů byly vyrobeny za použití metod elektronové litografie (EBL) a reaktivního iontového leptání (RIE). Jednotlivé fáze přípravy byly monitorovány pomocí optické mikroskopie a mikroskopie atomárních sil (AFM). Vlastnosti výsledných grafenových nanostruktur byly charakterizovány rastrovacím elektronovým mikroskopem (SEM) a infračerveným spektrometrem s Fourierovou transformací (FTIR).
|
|
| |
|
|
Průmyslové aplikace optických nanoantén
Binková, Petra ; Édes, Zoltán (oponent) ; Babocký, Jiří (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá výrobou optických nanoantén pomocí elektronové litografie a jejich následným využitím v průmyslu. Byly navrhnuty optické komponenty, které by bylo možné využít jako ochranné prvky proti padělání plastových bankovek, ID karet, kreditních karet a podobně. Navržené struktury byly následně úspěšně vyrobeny a otestovány.
|
|
|
Preparation and Utilization of Exfoliated Graphite/Graphene Layers in Nanosensorics
Hrabovský, Miloš ; Drbohlavová, Jana (oponent) ; Bartošík, Miroslav (vedoucí práce)
This diploma thesis deals with the fabrication of graphite/graphene layers and measurement of their transport properties as a function of relative humidity. Graphene flakes were deposited by mechanical exfoliation. For contacting the graphene flakes the electron beam lithography was used. Additional characterization was performed by optical microscopy, atomic force microscopy and scanning electron microscopy. The thesis describes the steps for the production, observation and characterization of the deposited graphene flakes
|
|
|
Schottkyho solární články na rozhraní grafen/křemík
Zahradníček, Radim ; Drbohlavová,, Jana (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá výrobou a charakterizací Schottkyho solárního článku na rozhraní grafen/křemík. Schottkyho solární články byly vyrobeny s přední sběrnou elektrodou ze zlata, stříbra a uhlíku. Na rozhraní grafen/křemík Schottkyho solárního článku byla dále nadeponována mezivrstva Al2O3 resp. SiO2. Za účelem I-V charakterizace vyrobených Schottkyho solárních článků byla sestavena měřicí aparatura.
|
|
|
Aplikace fokusovaného iontového a elektronového svazku v nanotechnologiích
Šamořil, Tomáš ; Mikulík, Petr (oponent) ; Jiruše, Jaroslav (oponent) ; Šikola, Tomáš (vedoucí práce)
Systémy pracující současně s fokusovanými elektronovými a iontovými svazky jsou v dnešní době velmi důležitými nástroji v oblasti mikro- a nanotechnologií. Kromě zobrazování a analýzy vzorků je lze rovněž využít k litografii, jejíž aplikací jsou připravovány struktury požadovaného tvaru a rozměrů v mikrometrovém až nanometrovém měřítku. Práce nejprve pojednává o jedné z litografických metod – depozici indukované fokusovaným elektronovým nebo iontovým svazkem, u níž je hledáno optimální nastavení podmínek expozice a studována kvalita deponovaných kovových struktur z hlediska tvaru a prvkového složení. Následně je věnována pozornost i dalším typům litografických metod (elektronová, iontová), které jsou aplikovány k přípravě leptacích masek pro následné selektivní mokré leptání monokrystalického křemíku. Kromě optimalizace tohoto procesu je studováno využití leptaného povrchu Si např. pro pozdější selektivní růst kovových materiálů. U leptaných, tvarově a rozměrově definovaných 2D, resp. 3D struktur je studium v některých případech zaměřeno i na jejich funkční vlastnosti.
|
|
|
Optické vlastnosti asymetrických plasmonických struktur
Babocký, Jiří ; Kolařík, Vladimír (oponent) ; Čechal, Jan (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá studiem rezonančních módů v asymetrických plasmonických strukturách. V první části jsou shrnuty základní teoretické modely pro popis rezonančních módů plasmonických nanostruktur. V další části je popsána technologie elektronové litografie. Experimentální část popisuje technologické procesy vedoucí k zlepšení výsledků elektronové litografie při použití lift-off zpracování. Poslední kapitola se zabývá studiem reflexních spekter plasmonických antén a identifikací jednotlivých nabuzených módů.
|
|
|
Tvorba plazmonických mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Babocký, Jiří ; Dvořák, Petr (oponent) ; Kvapil, Michal (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá výrobou plazmonických antén pomocí elektronové litografie. V první části jsou shrnuty informace o technologiích použitelných pro tvorbu kovových nano a mikrostruktur na křemíkovém a skleněném substrátu. V další části je popsána metoda elektronové litografie a technologie, které jsou pro ni používány. V závěrečné části jsou popsány provedené experimenty a vytvořen empirický model popisující závislost velikosti vyrobených struktur na parametrech litografie.
|
host ::
RSS.